Το γυαλιστικό τακάκι CMP από σήριο περιστρέφεται και απομακρύνει υλικό, αφήνοντας παράλληλα μια καθαρή διαδρομή σε ένα ελεγχόμενο. Ένα γυαλιστικό τακάκι CMP από σήριο περιστρέφεται αργά και γλιστράει πάνω σε μια επιφάνεια. Η λάσπη στροβιλίζεται, απομακρύνοντας το απολεπισμένο υλικό και δημιουργώντας μια καθαρή διαδρομή κατά τη διάρκεια της διαδικασίας γυαλίσματος.