Θάλαμος κενού για χάραξη πλάσματος με μαγνητρονική εκπόρρευση. Αυτή η εικόνα παρουσιάζει έναν επίπεδο κάθοδο πηγής μαγνητρονικής εκπόρρευσης στο φλάντζ της θάλαμου, με φόντο μια θάλαμο πλάσματος επαγόμενου μαγνητισμού για χάραξη ατομικών επιπέδων, με ρομποτικό βραχίονα συναρμολόγησης εργοστασίου με LED ανάπτυξης Deep.