Ανάπτυξη φωτοαντίστασης — μια λακκούβα ανακάλυψης καθαρίζει την εκτεθειμένη αντίσταση σε ένα σ [/stencil], αφήνοντας το wafer ανέπ. Ανάπτυξη φωτοαντίστασης: εικονίδιο γραμμικής τέχνης του βήματος λιθογραφίας που μετατρέπει ένα αόρατο μοτίβο έκθεσης σε ένα φυσικό stencil. Ένα ακροφύσιο διανομής απελευθερώνει σταγόνες αλκαλικού ανακαλυπτή, συνήθως TMAH, σε ένα wafer που συγκρατείται σε ένα περιστρεφόμενο chuck. Το υγρό σχηματίζει μια λακκούβα σε όλη την επιφάνεια και, όπου το φως έφτασε σε ένα θετικό επίστρωμα, αυτό γίνεται