Λιθογραφία βύθισης: το νερό γεμίζει το κενό μεταξύ της τελικής φακής και του wafer για να ακριβεύσει την έκθεση 193 nm, εικονίδιο. Λιθογραφία βύθισης: εικονίδιο γραμμικής τέχνης που δείχνει πώς οι σαρωτές βαθύ υπεριώδους φωτισμού επιλύουν μικρότερες χαρακτηριστικές τσιπ γεμίζοντας το κενό κάτω από την οπτική με υγρό. Το παράλληλο φως 193 nm εισέρχεται από πάνω, διασχίζει έναν μεγάλο φακό προβολής και συνεχίζει σε ένα τελικό στοιχείο η επίπεδη επιφάνεια του οποίου έρχεται σε επαφή με υπερκαθαρό νερό