Επίπεδο Φωτοαντίστασης - σταγόνα φωτοαντίστασης που απελευθερώνεται σε ένα περιστρεφόμενο wafer πυριτίου, εικονίδιο γραμμής επικάλ. Επίπεδο Φωτοαντίστασης: εικονίδιο γραμμικής τέχνης που δείχνει πώς εφαρμόζεται ένα φωτοευαίσθητο στρώμα στη φωτολιθογραφία. Ένα ακροφύσιο διάνομής στο επάνω μέρος απελευθερώνει μια σταγόνα υγρού φωτοαντίστασης προς το κέντρο ενός notched wafer πυριτίου. Κυρτές βέλες και στις δύο πλευρές δείχνουν το υπόστρωμα να περιστρέφεται με υψηλή ταχύτητα, γεγονός που απλώνει το πολυμερές προς τα έξω σε μια λεπτή, ομοιόμορφη μεμβράνη και th